Mini nga Yugto: WN263TA20H

Sakop sa Pagbiyahe

20mm

Resolusyon

0.125μm

Pagkabalikbalik

＜1μm

Pagkatul-id

＜2μm

Paralelismo

＜5μm

Pitching

10″(50μrad）

Nagyawyaw

10″(50μrad）

Maximum nga Speed

5mm/sec

Kapasidad sa Pagkarga

10kg

Gibug-aton

1.5kg